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中國(guó)芯片蝕刻技術(shù)國(guó)際領(lǐng)先。用NF3蝕刻硅芯片,產(chǎn)物均為氣體,在蝕刻物表面不留任何殘留物。該反應(yīng)微觀過(guò)程如圖所示,下列說(shuō)法正確( ?。?br />菁優(yōu)網(wǎng)
【答案】D
【解答】
【點(diǎn)評(píng)】
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發(fā)布:2024/10/19 11:0:2組卷:9引用:1難度:0.5
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