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在芯片制造過程中,離子注入是其中一道重要的工序,如圖甲所示是離子注入工作原理的示意圖,靜止于A處的離子,經(jīng)電壓為U的加速電場加速后,沿圖中圓弧虛線通過半徑為R0
1
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圓弧形靜電分析器(靜電分析器通道內(nèi)有均勻輻向分布的電場)后,從P點沿豎直方向進入半徑為r的圓形勻強磁場區(qū)域,該圓形磁場區(qū)域的直徑PQ與豎直方向成45°,經(jīng)磁場偏轉(zhuǎn),最后打在豎直放置的硅片上,離子的質(zhì)量為m、電荷量為q,不計離子重力。求:
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(1)離子進入圓形勻強磁場區(qū)域時的速度大小v;
(2)靜電分析器通道內(nèi)虛線處電場強度的大小E0;
(3)若磁場方向垂直紙面向外,離子從磁場邊緣上某點出磁場時,速度方向與直徑PQ垂直,求圓形區(qū)域內(nèi)勻強磁場的磁感應(yīng)強度B0的大?。?br />(4)若在該圓形區(qū)域內(nèi)加如圖乙所示交變的磁場(圖中B1大小未知、方向垂直紙面,且以垂直于紙面向外為正方向),當離子從t=0時進入圓形磁場區(qū)域時,最后從Q點飛出,水平向右垂直打在硅片上,請寫出磁場變化周期T滿足的關(guān)系表達式。

【答案】見試題解答內(nèi)容
【解答】
【點評】
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發(fā)布:2024/4/20 14:35:0組卷:262引用:9難度:0.6
相似題
  • 1.如圖1所示,在xOy坐標系中,兩平行極板P、Q垂直于y軸且關(guān)于x軸對稱,極板長度和板間距均為l,緊靠極板的右邊緣的有界勻強磁場區(qū)域由ΔAB0和矩形0BCD構(gòu)成,其中∠OAB=60°,OD=OA.磁場方向垂直于xOy平面向里,D、A位于y軸上。位于極板左側(cè)的粒子源沿x軸向右接連發(fā)射質(zhì)量為m,電荷量為+q、速度相同的帶電粒子,現(xiàn)在0~3t0時間內(nèi)兩板間加上如圖2所示的電壓,已知t=0時刻進入兩板間的粒子,在t0時刻射入磁場時,恰好不會從磁場邊界射出磁場區(qū)域且圓心在x軸上,上述l、m、q、t0為已知量,U0=
    m
    l
    2
    q
    t
    0
    2
    ,不考慮P、Q兩板電壓的變化對磁場的影響,也不考慮粒子的重力及粒子間的相互影響,求:
    (1)t=0時刻進入兩板間的帶電粒子射入磁場時的速度;
    (2)勻強磁場的磁感應(yīng)強度的大小及磁場區(qū)域的面積;
    (3)t=t0時刻進入兩板間的帶電粒子在勻強磁場中運動的時間。
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    發(fā)布:2024/12/30 0:0:1組卷:79引用:2難度:0.7
  • 菁優(yōu)網(wǎng)2.如圖,半徑為d的圓形區(qū)域內(nèi)有磁感應(yīng)強度為B的勻強磁場,磁場垂直圓所在的平面。一帶電量為q、質(zhì)量為m的帶電粒子從圓周上a點對準圓心O射入磁場,從b點折射出來,若α=60°,則帶電粒子射入磁場的速度大小為(  )

    發(fā)布:2025/1/6 0:30:5組卷:272引用:2難度:0.6
  • 菁優(yōu)網(wǎng)3.如圖所示,三角形ABC內(nèi)有垂直于三角形平面向外的勻強磁場,AB邊長為L,∠CAB=30°,∠B=90°,D是AB邊的中點?,F(xiàn)在DB段上向磁場內(nèi)射入速度大小相同、方向平行于BC的同種粒子(不考慮粒子間的相互作用和粒子重力),若從D點射入的粒子恰好能垂直AC邊射出磁場,則AC邊上有粒子射出的區(qū)域長度為(  )

    發(fā)布:2025/1/3 0:30:3組卷:300引用:1難度:0.5
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